实验室中所有人都动了起来,陈辉也没有闲着,他已经在继续观察实验数据了。
似乎对于实验结果一点也不关心的样子。
他并没有关注机器学习模型的问题,刚才鄂老已经跟他简单介绍过了,他们对缺陷样本采用几何变换和物理模拟的方式来平衡样本分布。
使用迁移学习,将碳化硅缺陷检测预训练模型迁移至氧化镓,采用元学习,让模型从少量缺陷样本中快速学习特征比如位错的线缺陷方向,再结合主动学习,主动标记“难样本”,引导工程师补充高价值数据等一系列手段。
已经取得了一些成效。
鄂维南院士是机器学习方面的专家,陈辉没有过多插手,他相信这些问题很快就能被解决。
陈辉看向了另一个问题,在导模法生长中,熔体流动影响温度梯度,温度梯度又导致晶体应力,使得最后生成晶体缺陷密度过高,成为废品。
而这个问题又涉及到温度场、流场、应力场、电场的多物理场耦合,
如果仅考虑温度场的FEA模型预测的晶界缺陷密度为10 cm,但实际因熔体对流扰动,缺陷密度达3×10 cm。
所以想要得到比较准确的数据,就需要协同求解。
其中温度场涉及热传导方程,流场涉及纳维斯托克斯方程,应力场涉及弹性力学方程,这些方程原本在各自的领域就已经足够复杂,现在需要协同求解,无疑是难上加难。
当然,这里的求解跟数学上纳维斯托克斯方程并不是同一个概念,在数学研究中,求解纳维-斯托克斯方程的目的是为了探索方程本身的性质,如解的存在性、唯一性和光滑性。
这通常涉及到复杂的数学分析和证明,如使用巴拿赫不动点定理等高级数学工具。
但在应用中求解,纳维-斯托克斯方程的主要目的是为了预测和模拟流体的运动行为,求的是近似数值解,满足工程精度即可,不追求严格数学证明。
可以说跟陈辉正在研究的问题并没有太大的联系,但毫无疑问,若是陈辉能够完成NS方程数学解的证明,将会对工程应用中的近似解求解产生巨大的好处,甚至带来划时代的颠覆。
收敛思绪,回到眼前的问题,陈辉在脑海中回顾整个实验过程,NS方程描述流体的动量守恒,热传导方程描述能量输运,弹性力学方程描述应力-应变关系,而在氧化镓晶体圆生长过程中,三者强耦合,根本无法独立求解。
熔体流动通过对流换热引起温度梯度,改变局部热膨胀系数,诱发热应力,产生从流场到温度场的耦合。
温度不均匀导致材料热膨胀/收缩差异,晶圆生长中籽晶与熔体界面,产生热应力,温度场又影响到了应力场。
晶体生长过程中,固液界面附近的应力可能改变熔体粘度,位错周围的应力场影响扩散系数,甚至诱导流动扰动比如晶体旋转时的离心力,应力场又会影响到流场。
这种“双向强关联”导致传统单场求解器无法直接扩展,需处理非线性项的交叉耦合,NS方程中的粘性应力与应力场的粘性耦合。
氧化镓熔体生长中,热应力可能使熔体表面产生波动,进而改变熔体-气体界面形状,影响气体保护效果,例如氧含量波动),形成“流场-温度场-应力场-化学场”的多级耦合。
三者之间相互依存,想要准确的预测,只能同步求解三个方程,即三者每求解一步都需要进行数据交换,如此嵌套求解,或许才能提高最后预测值的精准度。
但三个方程原本就已经足够复杂,如此嵌套之后,求解难度呈指数上升,并且在数据交换过程中,各场的数据同样会变化,很难得到精确的预测值,这也是鄂老他们到现在都还没能解决的原因。
这个问题完全可以通过松-紧偶尔协同求解,以此来降低求解难度,减少计算量和数据交换导致数据延迟,陈辉开始在草稿纸上进行推演。
所谓松耦合,是指各场独立求解,通过低频次的数据交换,比如每10步流场计算后更新一次温度场,降低计算量,可以在耦合较弱的场景中使用,比如在稳态生长后期,流场、温度场已趋于稳定的时候。
所谓紧耦合,采用“嵌套迭代”或“统一时间步长”,在每个全局时间步内多次迭代各场方程,直至残差满足精度要求,适用于强耦合场景,比如熔体流动剧烈、温度梯度大的生长初期。
松-紧协同的方法在工程中很常用,鄂维南院士他们之所以到现在还没解决,无非是没能设计出场间数据传递接口,没有找到高效的收敛判据。
恰巧,这些都是陈辉擅长的。
不过到此问题也并没有完全解决,想要完成紧偶尔同步嵌套,还需要统一各场的时空尺度,可困难的是,不同物理场的特征时空尺度差异显著。
熔体流动的特征时间尺度为毫秒级,在导模法中熔体流动速度约0.1 m/s,特征长度0.1 mm,时间尺度τ≈1ms。
热扩散的特征时间尺度为秒级,在氧化镓热扩散率约10^6m2/s,特征长度1mm,时间尺度τ≈1s。
晶体生长的特征时间尺度为小时级,8英寸晶圆生长周期约2小时,但应力松弛的时间尺度可能短至分钟级,比如位错运动的时间尺度。
这种“时间尺度分离”导致传统全局时间步长无法兼顾精度与效率,若取流场的时间步长(1ms),则温度场和应力场需重复计算1000次/秒,计算量爆炸,若取应力场的时间步长(1分钟),则流场的瞬态效应,流动启动阶段的非定常性会被忽略。
实验室中大家的忙碌已经告一段落,接下来就是观察实验反应中各个步骤的参数,也是验证陈辉模型准确度的时候了。
张星看着在总控台上陷入长考的陈辉,一时间心情复杂,他们还是很佩服陈辉的,随时随地能够进入深度学习的状态,这是很多学者梦寐以求的天赋,他们也有些明白为什么陈辉能够取得那么多瞩目的成就。
可这个家伙只用十几分钟就捣鼓出一个模型,让他们来验证,总感觉有些儿戏。
哎!
陈辉轻叹一声,揉了揉有些发酸的脖颈。
“老师,要不,休息一会儿?”
蔻依有些担心的问道,老师趴在总控台上,这一趴就是两个多小时,铁人都扛不住吧。
陈辉摆摆手,他感觉已经有些灵感了,却又感觉脑中一团浆糊,灵感并不明晰。
“蔻依?”
“留学生?”
“因材施教!”
忽然,看到蔻依的陈辉脑子里陡然冒出这几个词语,宛若暴雷劈中的枯木,只留下一段焦黑的枯枝,但在那枯枝下,有一缕嫩芽悄然生长。
既然各种物理场的时空尺度不一致,那为什么非要使用同样的时间步长呢?
针对时间尺度分离问题,完全可以采用多时间步长策略,
将全局时间步长设为流场的特征时间Δtflow,在每个全局步内:
1.流场直接推进Δtflow;
2.温度场以更小的时间步长(Δttemp=Δtflow/n,n=10100)推进,利用流场的结果作为边界条件;
3.应力场以更小的时间步长(Δtstress=Δtflow/m,m=1001000)推进,仅在高应力梯度区域,比如固液界面进行精细计算,其余区域采用准静态近似。
引入“局部时间步长”技术,仅在需要高精度的区域(如界面附近)使用小时间步长,其他区域使用大时间步长,平衡效率与精度!
这何尝不是另一个维度上的因材施教呢?
想通关键问题,一切都豁然开朗,陈辉快速在草稿纸上推演起来。
“成了!”
“真的成了!”
忽然,实验室中爆发出一阵惊喜的欢呼。
正在进行实验验证的杨驰张星等人激动得手舞足蹈,只有以此才能表达自己心中的激动之情。
通过DFT计算Ga和O的形成能,修正LSW模型的扩散系数公式后,使用陈辉给的模型,熔体生长速率预测误差从25%降至5%!
刚才他们进行了十组实验,每一组的误差都在4%-7%之间。
张星都不敢相信自己的眼睛,总控台上那个家伙只用了十几分钟时间,就做出了这种成果,那他们这两个多月时间,在干什么?
这还是陈辉根据以往数据粗略算出来的模型,如果在产线部署在线传感器,红外热像仪、气相色谱仪等,实时采集温度、气体成分数据,再通过贝叶斯优化算法动态修正模型参数,这个误差数据还会进一步缩小。
再看向陈辉时,张星的眼神已经变了。
这家伙简直神了!
不仅是张星,那些才刚加入实验室的研究员们都震撼莫名。
即便他们早已听说过陈辉的种种事迹,知道陈辉在数学上有很深的造诣,是个天才。
但听再多的故事,都不如故事发生在自己眼前带来的冲击大。
不要说他们,就连杨驰邓婷等人,都是心潮澎湃,他们知道陈辉来了肯定能做出点什么,带来些奇迹,但哪怕是他们,也没有预料到,这个奇迹会来得这么快。
鄂维南也是长叹一声,看着旁边这个稚嫩的面庞,人果然是不服老不行啊。
站在陈辉身后的蔻依早就已经双眼闪烁星星,原本就已经神化的身影在她眼中变得更加高大了几分,就算有人告诉她陈辉是耶稣降世,她都会相信。
只有陈辉并没有太多的波动,这早就在他预料之中。
“搞定了!”
又花了近一个小时,陈辉才完成多尺度时空的降阶与分层操作,整理出了一个能够应用的模型。
这个模型的验证就更复杂一些了,需要先将模型转化成计算机模型,再进行验证。
“太好了!”
鄂维南有些激动的看着陈辉递给他的草稿纸。
他叫陈辉过来,原本就是想让陈辉帮忙解决多场耦合的协同求解问题,只要能够构建出一个达到精确度要求的预测模型,将会大幅度氧化镓晶圆生长过程中各参数的控制难度,硬件精度不够,软件预测来弥补。
至于溶液扩散模型的修正,倒只能算是意外之喜了。
现在两者加起来,只要陈辉的预测模型不要有太大偏差,氧化镓的工业化将水到渠成。
但陈辉并没有满足,
他的化学熟练度也有接近3级的程度,虽然比起很多材料学教授还差不少,但他数学足够好,加上早些时间泡实验室的经验,这让他在解决这些材料学问题时,如有神助。
来到实验室后,能够轻松的识别出问题所在。
比如还有一个关键问题,在氧化镓晶圆生长中,多物理场的界面,熔体-晶体界面、坩埚-熔体界面、气体-熔体界面是耦合的关键区域,但界面特性难以精确描述。
自由表面熔体-气体界面存在表面张力σ和波动,需通过VOF或Level Set方法追踪界面,同时耦合NS方程的表面张力项((σκ)。
固液界面晶体-熔体界面,氧化镓结晶时存在相变潜热,需在热传导方程中加入潜热项ρLtf,,同时界面处的应力连续性(σsolid=σliquid)需严格满足。
实际工艺中,坩埚壁面的温度分布,加热器功率波动、气体流量的脉动等随机因素会引入边界条件的不确定性,传统确定性求解器难以捕捉其对多场耦合的影响。
鄂维南自然能看懂陈辉在做什么,眼神在实验室扫视一圈,目光所及之处,大家的欢腾都平息了下来,一方面自然是鄂老强大的压迫力,同时,他们也知道这个时候不能打扰陈辉。
但他们并没有在旁边干看着,鄂维南已经拿起陈辉旁边的草稿纸,开始指挥大家输入模型进行验证了。
这一次,陈辉陷入了长考。
能够找出问题,就已经解决了这个问题的一半了,但想要彻底解决这个问题,显然也并没有那么容易。
一直过了半个小时,他也没有找到什么有用的思绪。
呼!
又过了十几分钟,陈辉长呼一口气,他终于抬起头来,揉了揉有些发胀的脑袋,决定暂时搁置这个问题,等到化学和数学等级再提升一些再说。
一个问题,如果你连头绪都没有,就说明这不是短时间能解决的,这个时候就需要暂时放下问题,不断的学习,提升自己,直到水到渠成,问题也就迎刃而解了。
陈辉很有经验。
似乎对于实验结果一点也不关心的样子。
他并没有关注机器学习模型的问题,刚才鄂老已经跟他简单介绍过了,他们对缺陷样本采用几何变换和物理模拟的方式来平衡样本分布。
使用迁移学习,将碳化硅缺陷检测预训练模型迁移至氧化镓,采用元学习,让模型从少量缺陷样本中快速学习特征比如位错的线缺陷方向,再结合主动学习,主动标记“难样本”,引导工程师补充高价值数据等一系列手段。
已经取得了一些成效。
鄂维南院士是机器学习方面的专家,陈辉没有过多插手,他相信这些问题很快就能被解决。
陈辉看向了另一个问题,在导模法生长中,熔体流动影响温度梯度,温度梯度又导致晶体应力,使得最后生成晶体缺陷密度过高,成为废品。
而这个问题又涉及到温度场、流场、应力场、电场的多物理场耦合,
如果仅考虑温度场的FEA模型预测的晶界缺陷密度为10 cm,但实际因熔体对流扰动,缺陷密度达3×10 cm。
所以想要得到比较准确的数据,就需要协同求解。
其中温度场涉及热传导方程,流场涉及纳维斯托克斯方程,应力场涉及弹性力学方程,这些方程原本在各自的领域就已经足够复杂,现在需要协同求解,无疑是难上加难。
当然,这里的求解跟数学上纳维斯托克斯方程并不是同一个概念,在数学研究中,求解纳维-斯托克斯方程的目的是为了探索方程本身的性质,如解的存在性、唯一性和光滑性。
这通常涉及到复杂的数学分析和证明,如使用巴拿赫不动点定理等高级数学工具。
但在应用中求解,纳维-斯托克斯方程的主要目的是为了预测和模拟流体的运动行为,求的是近似数值解,满足工程精度即可,不追求严格数学证明。
可以说跟陈辉正在研究的问题并没有太大的联系,但毫无疑问,若是陈辉能够完成NS方程数学解的证明,将会对工程应用中的近似解求解产生巨大的好处,甚至带来划时代的颠覆。
收敛思绪,回到眼前的问题,陈辉在脑海中回顾整个实验过程,NS方程描述流体的动量守恒,热传导方程描述能量输运,弹性力学方程描述应力-应变关系,而在氧化镓晶体圆生长过程中,三者强耦合,根本无法独立求解。
熔体流动通过对流换热引起温度梯度,改变局部热膨胀系数,诱发热应力,产生从流场到温度场的耦合。
温度不均匀导致材料热膨胀/收缩差异,晶圆生长中籽晶与熔体界面,产生热应力,温度场又影响到了应力场。
晶体生长过程中,固液界面附近的应力可能改变熔体粘度,位错周围的应力场影响扩散系数,甚至诱导流动扰动比如晶体旋转时的离心力,应力场又会影响到流场。
这种“双向强关联”导致传统单场求解器无法直接扩展,需处理非线性项的交叉耦合,NS方程中的粘性应力与应力场的粘性耦合。
氧化镓熔体生长中,热应力可能使熔体表面产生波动,进而改变熔体-气体界面形状,影响气体保护效果,例如氧含量波动),形成“流场-温度场-应力场-化学场”的多级耦合。
三者之间相互依存,想要准确的预测,只能同步求解三个方程,即三者每求解一步都需要进行数据交换,如此嵌套求解,或许才能提高最后预测值的精准度。
但三个方程原本就已经足够复杂,如此嵌套之后,求解难度呈指数上升,并且在数据交换过程中,各场的数据同样会变化,很难得到精确的预测值,这也是鄂老他们到现在都还没能解决的原因。
这个问题完全可以通过松-紧偶尔协同求解,以此来降低求解难度,减少计算量和数据交换导致数据延迟,陈辉开始在草稿纸上进行推演。
所谓松耦合,是指各场独立求解,通过低频次的数据交换,比如每10步流场计算后更新一次温度场,降低计算量,可以在耦合较弱的场景中使用,比如在稳态生长后期,流场、温度场已趋于稳定的时候。
所谓紧耦合,采用“嵌套迭代”或“统一时间步长”,在每个全局时间步内多次迭代各场方程,直至残差满足精度要求,适用于强耦合场景,比如熔体流动剧烈、温度梯度大的生长初期。
松-紧协同的方法在工程中很常用,鄂维南院士他们之所以到现在还没解决,无非是没能设计出场间数据传递接口,没有找到高效的收敛判据。
恰巧,这些都是陈辉擅长的。
不过到此问题也并没有完全解决,想要完成紧偶尔同步嵌套,还需要统一各场的时空尺度,可困难的是,不同物理场的特征时空尺度差异显著。
熔体流动的特征时间尺度为毫秒级,在导模法中熔体流动速度约0.1 m/s,特征长度0.1 mm,时间尺度τ≈1ms。
热扩散的特征时间尺度为秒级,在氧化镓热扩散率约10^6m2/s,特征长度1mm,时间尺度τ≈1s。
晶体生长的特征时间尺度为小时级,8英寸晶圆生长周期约2小时,但应力松弛的时间尺度可能短至分钟级,比如位错运动的时间尺度。
这种“时间尺度分离”导致传统全局时间步长无法兼顾精度与效率,若取流场的时间步长(1ms),则温度场和应力场需重复计算1000次/秒,计算量爆炸,若取应力场的时间步长(1分钟),则流场的瞬态效应,流动启动阶段的非定常性会被忽略。
实验室中大家的忙碌已经告一段落,接下来就是观察实验反应中各个步骤的参数,也是验证陈辉模型准确度的时候了。
张星看着在总控台上陷入长考的陈辉,一时间心情复杂,他们还是很佩服陈辉的,随时随地能够进入深度学习的状态,这是很多学者梦寐以求的天赋,他们也有些明白为什么陈辉能够取得那么多瞩目的成就。
可这个家伙只用十几分钟就捣鼓出一个模型,让他们来验证,总感觉有些儿戏。
哎!
陈辉轻叹一声,揉了揉有些发酸的脖颈。
“老师,要不,休息一会儿?”
蔻依有些担心的问道,老师趴在总控台上,这一趴就是两个多小时,铁人都扛不住吧。
陈辉摆摆手,他感觉已经有些灵感了,却又感觉脑中一团浆糊,灵感并不明晰。
“蔻依?”
“留学生?”
“因材施教!”
忽然,看到蔻依的陈辉脑子里陡然冒出这几个词语,宛若暴雷劈中的枯木,只留下一段焦黑的枯枝,但在那枯枝下,有一缕嫩芽悄然生长。
既然各种物理场的时空尺度不一致,那为什么非要使用同样的时间步长呢?
针对时间尺度分离问题,完全可以采用多时间步长策略,
将全局时间步长设为流场的特征时间Δtflow,在每个全局步内:
1.流场直接推进Δtflow;
2.温度场以更小的时间步长(Δttemp=Δtflow/n,n=10100)推进,利用流场的结果作为边界条件;
3.应力场以更小的时间步长(Δtstress=Δtflow/m,m=1001000)推进,仅在高应力梯度区域,比如固液界面进行精细计算,其余区域采用准静态近似。
引入“局部时间步长”技术,仅在需要高精度的区域(如界面附近)使用小时间步长,其他区域使用大时间步长,平衡效率与精度!
这何尝不是另一个维度上的因材施教呢?
想通关键问题,一切都豁然开朗,陈辉快速在草稿纸上推演起来。
“成了!”
“真的成了!”
忽然,实验室中爆发出一阵惊喜的欢呼。
正在进行实验验证的杨驰张星等人激动得手舞足蹈,只有以此才能表达自己心中的激动之情。
通过DFT计算Ga和O的形成能,修正LSW模型的扩散系数公式后,使用陈辉给的模型,熔体生长速率预测误差从25%降至5%!
刚才他们进行了十组实验,每一组的误差都在4%-7%之间。
张星都不敢相信自己的眼睛,总控台上那个家伙只用了十几分钟时间,就做出了这种成果,那他们这两个多月时间,在干什么?
这还是陈辉根据以往数据粗略算出来的模型,如果在产线部署在线传感器,红外热像仪、气相色谱仪等,实时采集温度、气体成分数据,再通过贝叶斯优化算法动态修正模型参数,这个误差数据还会进一步缩小。
再看向陈辉时,张星的眼神已经变了。
这家伙简直神了!
不仅是张星,那些才刚加入实验室的研究员们都震撼莫名。
即便他们早已听说过陈辉的种种事迹,知道陈辉在数学上有很深的造诣,是个天才。
但听再多的故事,都不如故事发生在自己眼前带来的冲击大。
不要说他们,就连杨驰邓婷等人,都是心潮澎湃,他们知道陈辉来了肯定能做出点什么,带来些奇迹,但哪怕是他们,也没有预料到,这个奇迹会来得这么快。
鄂维南也是长叹一声,看着旁边这个稚嫩的面庞,人果然是不服老不行啊。
站在陈辉身后的蔻依早就已经双眼闪烁星星,原本就已经神化的身影在她眼中变得更加高大了几分,就算有人告诉她陈辉是耶稣降世,她都会相信。
只有陈辉并没有太多的波动,这早就在他预料之中。
“搞定了!”
又花了近一个小时,陈辉才完成多尺度时空的降阶与分层操作,整理出了一个能够应用的模型。
这个模型的验证就更复杂一些了,需要先将模型转化成计算机模型,再进行验证。
“太好了!”
鄂维南有些激动的看着陈辉递给他的草稿纸。
他叫陈辉过来,原本就是想让陈辉帮忙解决多场耦合的协同求解问题,只要能够构建出一个达到精确度要求的预测模型,将会大幅度氧化镓晶圆生长过程中各参数的控制难度,硬件精度不够,软件预测来弥补。
至于溶液扩散模型的修正,倒只能算是意外之喜了。
现在两者加起来,只要陈辉的预测模型不要有太大偏差,氧化镓的工业化将水到渠成。
但陈辉并没有满足,
他的化学熟练度也有接近3级的程度,虽然比起很多材料学教授还差不少,但他数学足够好,加上早些时间泡实验室的经验,这让他在解决这些材料学问题时,如有神助。
来到实验室后,能够轻松的识别出问题所在。
比如还有一个关键问题,在氧化镓晶圆生长中,多物理场的界面,熔体-晶体界面、坩埚-熔体界面、气体-熔体界面是耦合的关键区域,但界面特性难以精确描述。
自由表面熔体-气体界面存在表面张力σ和波动,需通过VOF或Level Set方法追踪界面,同时耦合NS方程的表面张力项((σκ)。
固液界面晶体-熔体界面,氧化镓结晶时存在相变潜热,需在热传导方程中加入潜热项ρLtf,,同时界面处的应力连续性(σsolid=σliquid)需严格满足。
实际工艺中,坩埚壁面的温度分布,加热器功率波动、气体流量的脉动等随机因素会引入边界条件的不确定性,传统确定性求解器难以捕捉其对多场耦合的影响。
鄂维南自然能看懂陈辉在做什么,眼神在实验室扫视一圈,目光所及之处,大家的欢腾都平息了下来,一方面自然是鄂老强大的压迫力,同时,他们也知道这个时候不能打扰陈辉。
但他们并没有在旁边干看着,鄂维南已经拿起陈辉旁边的草稿纸,开始指挥大家输入模型进行验证了。
这一次,陈辉陷入了长考。
能够找出问题,就已经解决了这个问题的一半了,但想要彻底解决这个问题,显然也并没有那么容易。
一直过了半个小时,他也没有找到什么有用的思绪。
呼!
又过了十几分钟,陈辉长呼一口气,他终于抬起头来,揉了揉有些发胀的脑袋,决定暂时搁置这个问题,等到化学和数学等级再提升一些再说。
一个问题,如果你连头绪都没有,就说明这不是短时间能解决的,这个时候就需要暂时放下问题,不断的学习,提升自己,直到水到渠成,问题也就迎刃而解了。
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